关于钛升华泵简述 钛升华泵

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【关于钛升华泵简述 钛升华泵】

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文章插图
1、 钛升华泵是靠新鲜钛膜的化学吸附作用抽气的真空泵 。
2、这种泵具有结构简单、抽速大、无油污染、抗辐射和无振动噪声等特点,启动压力为1~10-2帕,工作压力范围为10-2~10-8帕,是获得无油超高真空的重要真空泵 。
3、钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置,以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用 。
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